Precyzyjne interferometry światła białego do bezdotykowych pomiarów odległości i grubości
Innowacyjne interferometry światła białego firmy Micro-Epsilon wyznaczają standardy w precyzyjnych pomiarach odległości i grubości. Czujniki te zapewniają stabilne wyniki pomiarów z rozdzielczością poniżej nanometra, oferując stosunkowo duży zakres pomiarowy i odległość przesunięcia. Interferometry są dostępne w 3 seriach: IMS5400-DS do precyzyjnych przemysłowych pomiarów odległości, IMS5400-TH do dokładnych pomiarów grubości oraz IMS5600-DS do pomiarów odległości z rozdzielczością pikometrową.
Charakterystyka:
- Bezwzględny pomiar odległości z nanometrową dokładnością
- Precyzyjne pomiary grubości niezależnie od odległości od czujnika
- Wieloszczytowy pomiar odległości i wielowarstwowy pomiar grubości
- Niezrównana precyzja w zastosowaniach przemysłowych
- Najlepszy w swojej klasie: Rozdzielczość 30 pikometrów (IMS5600)
- Wysoka stabilność sygnału dzięki nowym algorytmom oceny i aktywnej kompensacji temperatury
- Duża odległość przesunięcia
- Prosta konfiguracja parametrów za pośrednictwem interfejsu internetowego
- Zoptymalizowane pod kątem przemysłu czujniki z wytrzymałą metalową obudową i elastycznymi kablami
- Czujniki i kable przystosowane do pracy w próżni
Interferometr dla przemysłu i automatyki
Przemysłowy interferometr światła białego składa się z wytrzymałego czujnika, bardzo elastycznego kabla czujnika i kontrolera w aluminiowej obudowie, którą można zamontować na szynie DIN. Sterownik ma aktywną kontrolę temperatury, która kompensuje zmiany temperatury otoczenia, a tym samym osiąga ogromną stabilność temperatury. Dzięki solidnej konstrukcji interferometr może być również zintegrowany w środowiskach przemysłowych. Przewody o długości do 10 m pozwalają również na przestrzenną separację czujnika i kontrolera. Do zadań pomiarowych w pomieszczeniach czystych i w próżni dostępne są czujniki, kable i akcesoria do wprowadzania kabli przystosowane do pracy w próżni.
Nowe modele czujników o różnych konstrukcjach
Nowe czujniki interferometryczne o różnych konstrukcjach i właściwościach są dostępne do integracji w wymagających środowiskach. Ze względu na ścieżkę wiązki 90°, czujnik IMP-DS0.5/90/VAC może być również montowany w niskich przestrzeniach montażowych. Nowy miniaturowy czujnik IMP-DS1/VAC jest jednym z najmniejszych czujników optycznych firmy Micro-Epsilon. Dzięki średnicy 4 mm i zintegrowanemu kablowi, czujnik może być również używany w bardzo ograniczonych przestrzeniach montażowych. Czujniki i kable mogą być używane zarówno w pomieszczeniach czystych, jak i w próżni.
Ekstremalna rozdzielczość i mała plamka światła umożliwiają pomiary najmniejszych szczegółów i struktur
Czujniki interferometryczne zapewniają rozdzielczość poniżej nanometra. Ponadto generują plamkę świetlną o wielkości 10 µm w całym zakresie pomiarowym. Pozwala to na pomiar drobnych szczegółów, takich jak struktury na półprzewodnikach i zminiaturyzowanych komponentach elektronicznych. Plamka świetlna jest wizualizowana przez laser pilotujący i ułatwia ustawienie czujnika.
Opatentowany laser pilotujący ułatwiający pozycjonowanie czujnika
Interferometry światła białego wykorzystują światło podczerwone w zakresie niewidzialnym (długość fali ok. 840 nm), co oznacza, że pozycja pomiarowa nie jest widoczna. Aby wizualizować pozycję pomiarową, systemy Micro-Epsilon są wyposażone w laser pilotujący, który wyświetla plamkę świetlną na pozycji pomiarowej. Ponadto laser pilotujący wykorzystuje opatentowaną metodę dostarczania informacji zwrotnej o odległości oprócz pozycji pomiarowej. Jeśli obiekt pomiarowy znajduje się w prawidłowej odległości i w zakresie pomiarowym, laser pilotujący emituje stałą poświatę. Jeśli obiekt pomiarowy znajduje się poza zakresem pomiarowym, laser pilotujący miga.
Regulowany adapter montażowy do wyrównania czujnika
Aby osiągnąć maksymalną dokładność, interferometry muszą być ustawione możliwie prostopadle do celu. Dzięki regulowanemu adapterowi montażowemu czujniki można optymalnie ustawić względem obiektu pomiarowego. Czujnik można również ustawić po zainstalowaniu w maszynie. Adapter przemysłowy umożliwia przemieszczanie w osiach x i y, a także pochylanie czujnika względem obiektu pomiarowego.
Nowość: Regulowany adapter montażowy do dwustronnego pomiaru grubości
JMA-Thickness składa się z dwóch regulowanych adapterów montażowych i wspomaga wyrównanie czujników w dwustronnych pomiarach grubości. Oznacza to, że punkty pomiarowe mogą być rozmieszczone absolutnie zbieżnie na osi optycznej, co zapewnia niezawodne pomiary grubości z najwyższą precyzją. JMA-Thickness jest idealny do integracji z maszynami i zakładami produkcyjnymi. Wstępnie zmontowane płyty montażowe umożliwiają szybką i łatwą instalację.
Łatwość obsługi za pomocą interfejsu internetowego
Dzięki przyjaznemu dla użytkownika interfejsowi sieciowemu, do konfiguracji kontrolera i czujników nie jest potrzebne żadne dodatkowe oprogramowanie. Interfejs sieciowy jest dostępny za pośrednictwem połączenia Ethernet i umożliwia szybkie i łatwe ustawienie, np. uśredniania, szybkości pomiaru i ustawień wstępnych.
Nowoczesne interfejsy do integracji z maszynami i systemami
Sterownik oferuje zintegrowane interfejsy, takie jak Ethernet, EtherCAT i RS422, a także dodatkowe połączenia enkodera, wyjścia analogowe, wejścia synchronizacji i cyfrowe wejścia/wyjścia. W przypadku korzystania z modułów interfejsu Micro-Epsilon dostępne są interfejsy PROFINET i EthernetIP. Pozwala to na integrację interferometru ze wszystkimi systemami sterowania i programami produkcyjnymi.
