Interferometr światła białego do bezwzględnego pomiaru odległości z rozdzielczością subnanometrową
Nowy interferometr światła białego IMS5600-DS służy do pomiarów odległości z najwyższą precyzją. Sterownik oferuje specjalną kalibrację z inteligentną oceną i umożliwia absolutne pomiary z rozdzielczością subnanometrową. Interferometr jest wykorzystywany do zadań pomiarowych o najwyższych wymaganiach dokładności, np. w elektronice i produkcji półprzewodników.
Charakterystyka:
- Pomiar odległości z subnanometrową precyzją
- Najlepszy w swojej klasie: Rozdzielczość < 30 pikometrów
- Pomiar bezwzględny, odpowiedni dla profili krokowych
- Kompaktowe i wytrzymałe czujniki z dużą odległością przesunięcia
- Częstotliwość pomiaru do 6 kHz dla szybkich pomiarów
- Łatwa konfiguracja za pomocą interfejsu internetowego
- Czujniki i kable odpowiednie do pracy w próżni
Bezwzględny pomiar odległości z dużym zakresem pomiarowym i przesunięciem odległości
IMS5600-DS służy do precyzyjnych pomiarów przemieszczenia i odległości. System zapewnia bezwzględne wartości pomiarowe i dlatego może być również używany do pomiaru odległości profili krokowych. Dzięki pomiarowi bezwzględnemu kroki są próbkowane z wysoką stabilnością sygnału. Podczas pomiarów na poruszających się obiektach, różnice w wysokości obcasów, stopni i zagłębień mogą być zatem niezawodnie wykrywane. System pomiarowy oferuje rozdzielczość poniżej nanometra z dużą odległością przesunięcia w stosunku do zakresu pomiarowego.
Wieloszczytowy pomiar odległości
Dzięki wieloparametrowemu pomiarowi odległości na przezroczystych obiektach, jednocześnie ocenianych jest do 14 wartości odległości. Na przykład można określić odległość między szkłem a płytą nośną. Kontroler może następnie obliczyć grubość szkła na podstawie wartości odległości.
Zaprojektowane do pomiarów odległości o wysokiej rozdzielczości w próżni
Interferometry IMS5600-DS mogą być wykorzystywane do zadań pomiarowych w środowiskach próżniowych i pomieszczeniach czystych, w których interferometry osiągają rozdzielczość w zakresie subnanometrów. Do zastosowań próżniowych Micro-Epsilon oferuje specjalne czujniki, kable i akcesoria przelotowe. Te czujniki i kable są w wysokim stopniu wolne od cząstek i mogą być używane w pomieszczeniach czystych do UHV.
Stabilne pomiary odległości z najwyższą precyzją
Kontroler może być zainstalowany w szafie sterowniczej poprzez montaż na szynie DIN i zapewnia bardzo stabilne wyniki pomiarów dzięki aktywnej kompensacji temperatury i pasywnemu chłodzeniu. Te kompaktowe czujniki zajmują bardzo mało miejsca i są wyposażone w bardzo elastyczne kable światłowodowe. Przewody o długości do 10 m pozwalają na przestrzenną separację czujnika i kontrolera. Czujnik można łatwo i szybko ustawić dzięki zintegrowanemu laserowi pilotującemu. Uruchamianie i parametryzacja są wygodnie wykonywane za pośrednictwem interfejsu internetowego i nie wymagają instalacji oprogramowania.
Pomiar na wielu powierzchniach
Interferometryczna metoda pomiarowa umożliwia pomiary na wielu powierzchniach. Umożliwia to bardzo precyzyjne pomiary odległości na odbijających metalach, tworzywach sztucznych i szkle.
Liczne modele do wymagających zadań pomiarowych
| Model | Zakres pomiarowy / Początek zakresu pomiarowego | Liniowość | Liczba mierzalnych warstw | Obszary zastosowań |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS19 | 2,1 mm / ok. 19 mm | ±10 nm | – | Precyzyjne pomiary odległości w procesach przemysłowych, np. w produkcji precyzyjnej |
| IMS5600-DS19/VAC | 2,1 mm / ok. 19 mm | ±10 nm | – | Precyzyjne zadania pozycjonowania i pomiary odległości w pomieszczeniach czystych i próżni, np. w produkcji wyświetlaczy do pozycjonowania masek |
| IMS5600MP-DS19 | Pomiar odległości: 2,1 mm / ok. 19 mm Pomiar grubości: 0,01 … 1,3 mm (dla BK7, n=1,5) / ok. 19 mm | ±10 nm dla pierwszej odległości ±100 nm dla każdej kolejnej odległości | Do 13 warstw | Precyzyjne pomiary odległości i grubości w procesach przemysłowych, np. w produkcji półprzewodników do określania grubości warstw na waflach lub w produkcji diod LED. |
| IMS5600MP-DS19/VAC | Pomiar odległości: 2,1 mm / ok. 19 mm Pomiar grubości: 0,01 … 1,3 mm (dla BK7, n=1,5) / ok. 19 mm | ±10 nm dla pierwszej odległości ±100 nm dla każdej kolejnej odległości | Do 13 warstw | Precyzyjne pomiary odległości i grubości w pomieszczeniach czystych i w próżni np. w produkcji półprzewodników do pomiaru położenia i wymiarów szczelin na maskach i waflach |
Nowoczesne interfejsy do integracji z maszynami i systemami
Sterownik oferuje zintegrowane interfejsy, takie jak Ethernet, EtherCAT i RS422, a także dodatkowe połączenia enkodera, wyjścia analogowe, wejścia synchronizacji i cyfrowe wejścia/wyjścia. W przypadku korzystania z modułów interfejsu Micro-Epsilon dostępne są interfejsy PROFINET i EthernetIP. Pozwala to na integrację interferometru ze wszystkimi systemami sterowania i programami produkcyjnymi.
